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“走，谢工肯定在工程部，上工程部找他去！”姜华说道。
辛佟点了点头。
工程部会议室里，
罗高工果然正在讨论技术问题。
“辛经理，你来得正是时候，我们正在讨论摩托罗拉项目切割裂纹的事情。”罗高工冲着辛佟招了招手。
辛佟点了点头，找了一个位置坐了下来。
“我们已经改成两刀切割了，切割对芯片的应力已经降低到最低水平了，没有想到圆片还是出现了裂纹。”S天王谢剑风情绪有点失落。
“谢工，两刀切割的工艺成熟吗？”罗高工问道。
“我们用这个工艺切割220μ晶圆，没有一点问题，对比实验表明还是跟晶圆的厚度有关，跟切割工艺无关。”谢剑风说道。
辛佟抬头看了他一眼，心想这谢工功课做得还是挺扎实的，不愧是天王级别的技术高手。
“这么说来，应力还是来自于减薄工序，那么我想问你，你有测量过减薄后晶圆的翘曲度吗？”罗高工问道。
辛佟投过去崇敬的目光，罗高工的逻辑推理能力真是太强大了，因为晶圆产生应力后肯定会有蛛丝马迹可查的，轻微变形肯定跑不掉。
“老大，我们测量过的，圆片翘曲度差不多到了400μ”谢工回答道。
辛佟暗自感叹，真没有想到谢工也考虑到减薄的应力了啊，天王就是天王，不过400μ不是有点大了？
“220μ圆减薄后的翘曲度你量过吗？”辛佟抬起头问道。
“不瞒你说，220μ晶圆我们也量测过，翘曲度在200μ右！”谢工回答道。